Továbbra is komoly fejtörést okoz az extrém ultraibolya fénnyel dolgozó félvezetőgyártási eljárások kifejlesztése. A nagyobb piaci szereplők mindegyike problémákkal küzd, amely azt erősíti, hogy az újabb gyártástechnológiák komplexitásának, és ezzel együtt költségeinek kordában tartására nem létezik csodaszer.